精密平台
備有齊全的各式電動引動器單元,如X-Y工作台與對位平台等
精密XY 平台 AX型
因採用了精密研磨的斷面高度低的LM導軌(線軌)與精密滾珠螺桿，是可高精度的定位給進的精密XY工作台。因為是沒有使用專用的中間鞍座的組合，行程在一軸工作台的組合下可以自由的選擇。
對位平台 CMX型
基座、上位工作台之間的四個角落，安裝了將交叉型LM線軌、交叉滾柱軸承、及精密滾珠螺桿組合起來的模組。因採用了這樣的獨特構造，而實現了超薄型構造的精密對位平台。
精密XY 平台 DX型
引導部使用交叉LM導軌(線軌)CSR型，驅動滾珠螺桿配置在CSR型的外側，是中空無中間鞍座的XY工作台。因為中空上位工作台與中空基座之間的高剛性框架的四邊配置了交叉LM導軌(線軌)CSR型，因此是簡單、高剛性、高度低的構造。
精密XY 平台 EX型
因採用了交叉LM線軌CSR型，是沒有使用中間鞍座構造簡單的XY工作台。藉由採用將兩軸的馬達固定的特殊構造，將動作部的重量降低到極限的輕量化，可控制XY各軸的慣性力，因此有優越的高速應答性。
